Verity Instruments Inc.

Ver ity Instr uments は 、 エンド ポイント 検出 、 高度 な プロセス 制御 、 膜 厚 測定 のための 光 発 光 計 および ソフトウェア アプリケーション の 業界 を リード する メーカー です 。

Ver ity の 光 放 出 ベースの 計 器 には 、 分 光 計 、 モノ クロ マ ータ 、 干 渉 フィル タ ベースの 検出 器 が含まれ ます 。これらの 製品は 、 エ ッチ ング 、 イ オン ビ ーム エ ッチ ング 、 C VD エ ッチ バック 、 フォ トレ ジ スト ストリ ップ 、 化学 / 機械 研 磨 （ C MP ） な どの プロセス での エンド ポイント 決定 に使用 されています 。また 、 プラ ズ マ 診断 、 プロセス 開発 、 プロセス 制御 、 膜 厚 測定 も 提供 しています 。